Análisis microestructural de películas delgadas nano estructuradas de Zn O
DOI:
https://doi.org/10.15381/rif.v23i2.20297Palabras clave:
pulverización catódica reactiva, Capas delgadas de ZnO, MEB, RRX, DRXResumen
Presentamos los resultados experimentales obtenidos del análisis microestructural de películas delgadas de ZnO con 20, 50 y 100 nm de espesor, crecidas sobre el sustrato de vidrio comercial por pulverización catódica reactiva. Analizamos la información cuantitativa sobre tamaño de los dominios cristalinos, dirección de textura de las nanocolumnas, sus densidades, espesores, rugosidad supercial y interfacial obtenida a través de técnicas de caracterización como la microscopía electrónica de barrido (MEB), la reflectividad de rayos X (XRR) y la difracción de rayos X (DRX).
Descargas
Publicado
Número
Sección
Licencia
Derechos de autor 2020 María Urbina, Juan Gonzalez
Esta obra está bajo una licencia internacional Creative Commons Atribución-NoComercial-CompartirIgual 4.0.
LOS AUTORES RETIENEN SUS DERECHOS:
a. Los autores retienen sus derechos de marca y patente, y tambien sobre cualquier proceso o procedimiento descrito en el artículo.
b. Los autores retienen el derecho de compartir, copiar, distribuir, ejecutar y comunicar públicamente el articulo publicado en la Revista de Investigación de Física (por ejemplo, colocarlo en un repositorio institucional o publicarlo en un libro), con un reconocimiento de su publicación inicial en la Revista de Investigación de Física.
c. Los autores retienen el derecho a hacer una posterior publicación de su trabajo, de utilizar el artículo o cualquier parte de aquel (por ejemplo: una compilación de sus trabajos, notas para conferencias, tesis, o para un libro), siempre que indiquen la fuente de publicación (autores del trabajo, revista, volumen, numero y fecha).
